Cydran | 99.9999% | Uned |
Ocsigen (Ar) | ≤0.1 | ppmV |
Nitrogen | ≤0.1 | ppmV |
Hydrogen | ≤20 | ppmV |
Heliwm | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
THC | ≤0.1 | ppmV |
Clorosilanes | ≤0.1 | ppmV |
disiloxane | ≤0.1 | ppmV |
Disilane | ≤0.1 | ppmV |
Lleithder (H2O) | ≤0.1 | ppmV |
Mae Silane yn gyfansoddyn o silicon a hydrogen. Mae'n derm cyffredinol ar gyfer cyfres o gyfansoddion, gan gynnwys monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) a rhai cyfansoddion silicon-hydrogen lefel uwch. Yn eu plith, monosilane yw'r mwyaf cyffredin, y cyfeirir ato weithiau fel silane yn fyr. Mae Silane yn nwy di-liw gydag arogl ffiaidd garlleg. Hydawdd mewn dŵr, bron yn anhydawdd mewn ethanol, ether, bensen, clorofform, silicon clorofform a silicon tetraclorid. Mae priodweddau cemegol silanau yn llawer mwy gweithredol nag alcanau ac yn hawdd eu ocsideiddio. Gall hylosgiad digymell ddigwydd pan fyddwch mewn cysylltiad ag aer. Nid yw'n adweithio â nitrogen o dan 25 ° C, ac nid yw'n adweithio â chyfansoddion hydrocarbon ar dymheredd ystafell. Mae tân a ffrwydrad silane yn ganlyniad i adwaith ag ocsigen. Mae Silane yn hynod sensitif i ocsigen ac aer. Bydd Silane â chrynodiad penodol hefyd yn adweithio'n ffrwydrol ag ocsigen ar dymheredd o -180 ° C. Mae Silane wedi dod yn nwy arbennig pwysicaf a ddefnyddir mewn prosesau microelectroneg lled-ddargludyddion, ac fe'i defnyddir wrth baratoi gwahanol ffilmiau microelectroneg, gan gynnwys ffilmiau crisial sengl, microcrystalline, polycrystalline, silicon ocsid, silicon nitrid, a silicidau metel. Mae cymwysiadau microelectronig silane yn dal i ddatblygu'n fanwl: epitacsi tymheredd isel, epitacsi detholus, ac epitacsi heteroepitaxial. Nid yn unig ar gyfer dyfeisiau silicon a chylchedau integredig silicon, ond hefyd ar gyfer dyfeisiau lled-ddargludyddion cyfansawdd (gallium arsenide, silicon carbide, ac ati). Mae ganddo hefyd gymwysiadau wrth baratoi deunyddiau ffynnon cwantwm superlattice. Gellir dweud bod silane yn cael ei ddefnyddio ym mron pob llinell gynhyrchu cylched integredig uwch yn y cyfnod modern. Mae cymhwyso silane fel ffilm a gorchudd sy'n cynnwys silicon wedi ehangu o'r diwydiant microelectroneg traddodiadol i feysydd amrywiol megis dur, peiriannau, cemegau ac opteg. Cymhwysiad posibl arall o silane yw gweithgynhyrchu rhannau injan cerameg perfformiad uchel, yn enwedig y defnydd o silane i weithgynhyrchu silicon (Si3N4, SiC, ac ati) mae technoleg micropowdwr wedi denu mwy a mwy o sylw.
①Electronig:
Mae Silane yn cael ei gymhwyso i haenau silicon polycrystalline ar wafferi silicon wrth weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, a selyddion.
② Solar:
Defnyddir Silane mewn gweithgynhyrchu modiwlau ffotofoltäig solar.
③ Diwydiannol:
Fe'i defnyddir mewn Gwydr Gwyrdd Arbed Ynni a'i gymhwyso i broses ffilm denau dyddodiad anwedd.
Cynnyrch | Hylif Silane SiH4 | |
Maint Pecyn | 47Ltr Silindr | Y-440L |
Llenwi Pwysau Net/Cyl | 10Kgs | 125Kgs |
QTY Llwythwyd mewn 20'Cynhwysydd | 250 Cyls | 8Cyls |
Cyfanswm Pwysau Net | 2.5 Tunnell | 1 tunnell |
Pwysau Tare Silindr | 52Kgs | 680Kgs |
Falf | CGA632/DISS632 |
① Mwy na deng mlynedd ar y farchnad;
Gwneuthurwr tystysgrif ②ISO;
③ Cyflwyno cyflym;
④ Ffynhonnell deunydd crai sefydlog;
⑤ System ddadansoddi ar-lein ar gyfer rheoli ansawdd ym mhob cam;
⑥ Gofyniad uchel a phroses fanwl ar gyfer trin silindr cyn ei lenwi;
⑦Purdeb: gradd electronig purdeb uchel;
⑧ Defnydd: deunyddiau celloedd solar; gwneud polysilicon purdeb uchel, silicon ocsid a ffibr optegol; gweithgynhyrchu gwydr lliw.