Defnyddiau hecsafflworid twngsten (WF6)

Mae hecsafflworid twngsten (WF6) yn cael ei ddyddodi ar wyneb y wafer trwy broses CVD, gan lenwi'r ffosydd rhyng-gysylltu metel, a ffurfio'r rhyng-gysylltiad metel rhwng haenau.

Gadewch i ni siarad am plasma yn gyntaf. Mae plasma yn fath o fater sy'n cynnwys electronau rhydd ac ïonau â gwefr yn bennaf. Mae'n bodoli'n eang yn y bydysawd ac yn aml fe'i hystyrir fel pedwerydd cyflwr mater. Fe'i gelwir yn gyflwr plasma, a elwir hefyd yn "Plasma". Mae gan plasma ddargludedd trydanol uchel ac mae ganddo effaith gyplu gref â maes electromagnetig. Mae'n nwy wedi'i ïoneiddio'n rhannol, sy'n cynnwys electronau, ïonau, radicalau rhydd, gronynnau niwtral, a ffotonau. Mae'r plasma ei hun yn gymysgedd niwtral yn drydanol sy'n cynnwys gronynnau gweithredol yn ffisegol ac yn gemegol.

Yr esboniad syml yw, o dan weithred egni uchel, y bydd y moleciwl yn goresgyn grym van der Waals, grym y bond cemegol a grym Coulomb, ac yn cyflwyno ffurf o drydan niwtral yn ei gyfanrwydd. Ar yr un pryd, mae'r egni uchel a roddir gan y tu allan yn goresgyn y tri grym uchod. Swyddogaeth, mae electronau ac ïonau yn cyflwyno cyflwr rhydd, y gellir ei ddefnyddio'n artiffisial o dan fodiwleiddio maes magnetig, megis proses ysgythru lled-ddargludyddion, proses CVD, proses PVD a phroses IMP.

Beth yw ynni uchel? Mewn theori, gellir defnyddio RF tymheredd uchel ac amledd uchel. Yn gyffredinol, mae bron yn amhosibl cyflawni tymheredd uchel. Mae'r gofyniad tymheredd hwn yn rhy uchel a gall fod yn agos at dymheredd yr haul. Mae'n amhosibl ei gyflawni yn y bôn yn y broses. Felly, mae'r diwydiant fel arfer yn defnyddio RF amledd uchel i'w gyflawni. Gall RF plasma gyrraedd mor uchel â 13MHz+.

Mae hecsafflworid twngsten yn cael ei blasmaleiddio o dan weithred maes trydan, ac yna'n cael ei anweddu gan faes magnetig. Mae atomau W yn debyg i blu gŵydd gaeaf ac yn cwympo i'r llawr o dan weithred disgyrchiant. Yn araf, mae atomau W yn cael eu dyddodi yn y tyllau trwodd, ac yn olaf yn cael eu llenwi'n llawn i ffurfio rhyng-gysylltiadau metel. Yn ogystal â dyddodi atomau W yn y tyllau trwodd, a fyddant hefyd yn cael eu dyddodi ar wyneb y Wafer? Ydw, yn bendant. Yn gyffredinol, gallwch ddefnyddio'r broses W-CMP, sef yr hyn a alwn ni'n broses malu fecanyddol i'w dynnu. Mae'n debyg i ddefnyddio ysgub i ysgubo'r llawr ar ôl eira trwm. Mae'r eira ar y ddaear yn cael ei ysgubo i ffwrdd, ond bydd yr eira yn y twll ar y ddaear yn aros. I lawr, fwy neu lai yr un fath.