DEFNYDDIAU O HEXAFLUORIDE TUNGSTEN (WF6)

Mae hecsafluorid twngsten (WF6) yn cael ei ddyddodi ar wyneb y wafer trwy broses CVD, gan lenwi'r ffosydd rhyng -gysylltiad metel, a ffurfio'r rhyng -gysylltiad metel rhwng haenau.

Gadewch i ni siarad am plasma yn gyntaf. Mae plasma yn fath o fater sy'n cynnwys electronau rhydd yn bennaf ac ïonau gwefredig. Mae'n bodoli'n eang yn y bydysawd ac yn aml mae'n cael ei ystyried fel y bedwaredd gyflwr mater. Fe'i gelwir yn wladwriaeth plasma, a elwir hefyd yn “plasma”. Mae gan plasma ddargludedd trydanol uchel ac mae'n cael effaith gyplu gref â maes electromagnetig. Mae'n nwy ïoneiddiedig rhannol, sy'n cynnwys electronau, ïonau, radicalau rhydd, gronynnau niwtral, a ffotonau. Mae'r plasma ei hun yn gymysgedd niwtral yn drydanol sy'n cynnwys gronynnau sy'n weithredol yn gorfforol ac yn gemegol.

Yr esboniad syml yw y bydd y moleciwl, o dan weithred egni uchel, yn goresgyn grym van der Waals, grym bond cemegol a grym Coulomb, ac yn cyflwyno math o drydan niwtral yn ei gyfanrwydd. Ar yr un pryd, mae'r egni uchel a roddir gan y tu allan yn goresgyn y tri grym uchod. Mae swyddogaeth, electronau ac ïonau yn cyflwyno cyflwr rhydd, y gellir ei ddefnyddio'n artiffisial o dan fodiwleiddio maes magnetig, megis proses ysgythru lled -ddargludyddion, proses CVD, PVD a phroses IMP.

Beth yw egni uchel? Mewn theori, gellir defnyddio tymheredd uchel ac amledd uchel RF. A siarad yn gyffredinol, mae tymheredd uchel bron yn amhosibl ei gyflawni. Mae'r gofyniad tymheredd hwn yn rhy uchel a gall fod yn agos at dymheredd yr haul. Yn y bôn mae'n amhosibl ei gyflawni yn y broses. Felly, mae'r diwydiant fel arfer yn defnyddio RF amledd uchel i'w gyflawni. Gall Plasma RF gyrraedd mor uchel â 13MHz+.

Mae hecsafluorid twngsten yn cael ei blasmai o dan weithred maes trydan, ac yna'n cael ei ddadleoli gan faes magnetig. Mae atomau W yn debyg i blu gwydd y gaeaf ac yn cwympo i'r llawr o dan weithred disgyrchiant. Yn araf, mae atomau W yn cael eu dyddodi i'r tyllau trwy dyllau, a'u llenwi'n llawn trwy dyllau i ffurfio rhyng -gysylltiadau metel. Yn ogystal ag adneuo atomau W yn y tyllau trwy dyllau, a fyddant hefyd yn cael eu dyddodi ar wyneb y wafer? Ie, yn bendant. A siarad yn gyffredinol, gallwch ddefnyddio'r broses W-CMP, a dyna beth rydyn ni'n ei alw'n broses malu fecanyddol i'w dynnu. Mae'n debyg i ddefnyddio ysgub i ysgubo'r llawr ar ôl eira trwm. Mae'r eira ar y ddaear yn cael ei ysgubo i ffwrdd, ond bydd yr eira yn y twll ar y ddaear yn aros. I lawr, tua'r un peth.