Defnydd o hecsaflworid twngsten (WF6)

Mae hecsafluorid twngsten (WF6) yn cael ei adneuo ar wyneb y wafer trwy broses CVD, gan lenwi'r ffosydd rhyng-gysylltiad metel, a ffurfio'r rhyng-gysylltiad metel rhwng haenau.

Gadewch i ni siarad am plasma yn gyntaf. Mae plasma yn fath o fater sy'n cynnwys electronau rhydd ac ïonau â gwefr yn bennaf. Mae'n bodoli'n eang yn y bydysawd ac fe'i hystyrir yn aml fel pedwerydd cyflwr mater. Fe'i gelwir yn gyflwr plasma, a elwir hefyd yn “Plasma”. Mae gan plasma ddargludedd trydanol uchel ac mae ganddo effaith gyplu gref â maes electromagnetig. Mae'n nwy rhannol ïoneiddiedig, sy'n cynnwys electronau, ïonau, radicalau rhydd, gronynnau niwtral, a ffotonau. Mae'r plasma ei hun yn gymysgedd trydanol niwtral sy'n cynnwys gronynnau sy'n actif yn gorfforol ac yn gemegol.

Yr esboniad syml yw, o dan weithred egni uchel, y bydd y moleciwl yn goresgyn grym van der Waals, grym bond cemegol a grym Coulomb, ac yn cyflwyno math o drydan niwtral yn ei gyfanrwydd. Ar yr un pryd, mae'r egni uchel a roddir gan y tu allan yn goresgyn y tri grym uchod. Mae swyddogaeth, electronau ac ïonau yn cyflwyno cyflwr rhydd, y gellir ei ddefnyddio'n artiffisial o dan fodiwleiddio maes magnetig, megis proses ysgythru lled-ddargludyddion, proses CVD, proses PVD ac IMP.

Beth yw ynni uchel? Mewn egwyddor, gellir defnyddio RF tymheredd uchel ac amledd uchel. Yn gyffredinol, mae tymheredd uchel bron yn amhosibl ei gyflawni. Mae'r gofyniad tymheredd hwn yn rhy uchel a gall fod yn agos at dymheredd yr haul. Yn y bôn, mae'n amhosibl ei gyflawni yn y broses. Felly, mae'r diwydiant fel arfer yn defnyddio RF amledd uchel i'w gyflawni. Gall plasma RF gyrraedd mor uchel â 13MHz +.

Mae hecsaflworid twngsten yn cael ei blasmaeiddio o dan weithred maes trydan, ac yna'n cael ei adneuo gan faes magnetig. Mae atomau W yn debyg i blu gŵydd gaeaf ac yn cwympo i'r llawr dan weithred disgyrchiant. Yn araf, mae atomau W yn cael eu hadneuo i mewn i'r tyllau trwodd, ac yn olaf eu llenwi'n Llawn tyllau i ffurfio rhyng-gysylltiadau metel. Yn ogystal â dyddodi atomau W yn y tyllau trwodd, a fyddant hefyd yn cael eu dyddodi ar wyneb y Wafer? Ie, yn bendant. Yn gyffredinol, gallwch ddefnyddio'r broses W-CMP, sef yr hyn yr ydym yn ei alw'n broses malu mecanyddol i'w ddileu. Mae'n debyg i ddefnyddio banadl i ysgubo'r llawr ar ôl eira trwm. Mae'r eira ar y ddaear yn cael ei ysgubo i ffwrdd, ond bydd yr eira yn y twll ar y ddaear yn aros. I lawr, yn fras yr un peth.