Rôl sylffwr hecsaflworid mewn ysgythriad nitrid silicon

Mae sylffwr hecsaflworid yn nwy gydag eiddo insiwleiddio rhagorol ac fe'i defnyddir yn aml mewn diffodd arc foltedd uchel a thrawsnewidwyr, llinellau trawsyrru foltedd uchel, trawsnewidyddion, ac ati. . Mae hecsaflworid sylffwr purdeb gradd electronig yn ysgythriad electronig delfrydol, a ddefnyddir yn helaeth ym maes technoleg microelectroneg. Heddiw, bydd golygydd nwy arbennig Niu Ruide Yueyue yn cyflwyno cymhwyso sylffwr hecsaflworid mewn ysgythriad nitrid silicon a dylanwad gwahanol baramedrau.

Rydym yn trafod proses ysgythru plasma SF6 SiNx, gan gynnwys newid y pŵer plasma, cymhareb nwy SF6/He ac ychwanegu'r nwy cationig O2, gan drafod ei ddylanwad ar gyfradd ysgythru haen amddiffyn elfen SiNx o TFT, a defnyddio ymbelydredd plasma. Mae sbectromedr yn dadansoddi newidiadau crynodiad pob rhywogaeth mewn plasma SF6/He, SF6/He/O2 a chyfradd daduniad SF6, ac yn archwilio’r berthynas rhwng y newid o Cyfradd ysgythru SiNx a chrynodiad y rhywogaeth plasma.

Mae astudiaethau wedi canfod, pan gynyddir y pŵer plasma, mae'r gyfradd ysgythru yn cynyddu; os cynyddir cyfradd llif SF6 yn y plasma, mae crynodiad yr atom F yn cynyddu ac mae'n cydberthyn yn gadarnhaol â'r gyfradd ysgythru. Yn ogystal, ar ôl ychwanegu'r nwy cationig O2 o dan y gyfradd llif gyfan sefydlog, bydd yn cael yr effaith o gynyddu'r gyfradd ysgythru, ond o dan wahanol gymarebau llif O2 / SF6, bydd gwahanol fecanweithiau adwaith, y gellir eu rhannu'n dair rhan. : (1 ) Mae'r gymhareb llif O2/SF6 yn fach iawn, gall O2 helpu i ddaduniadu SF6, ac mae'r gyfradd ysgythru ar hyn o bryd yn fwy na phan nad yw O2 yn cael ei ychwanegu. (2) Pan fo'r gymhareb llif O2/SF6 yn fwy na 0.2 i'r cyfwng sy'n agosáu at 1, ar hyn o bryd, oherwydd y daduniad mawr o SF6 i ffurfio atomau F, y gyfradd ysgythru yw'r uchaf; ond ar yr un pryd, mae'r atomau O yn y plasma hefyd yn cynyddu ac mae'n hawdd ffurfio SiOx neu SiNxO (yx) gydag arwyneb ffilm SiNx, a pho fwyaf o atomau O sy'n cynyddu, y mwyaf anodd fydd yr atomau F ar gyfer y adwaith ysgythru. Felly, mae'r gyfradd ysgythru yn dechrau arafu pan fydd y gymhareb O2/SF6 yn agos at 1. (3) Pan fydd y gymhareb O2/SF6 yn fwy nag 1, mae'r gyfradd ysgythru yn gostwng. Oherwydd y cynnydd mawr yn O2, mae'r atomau F dadunol yn gwrthdaro ag O2 a ffurf OF, sy'n lleihau crynodiad atomau F, gan arwain at ostyngiad yn y gyfradd ysgythru. Gellir gweld o hyn, pan ychwanegir O2, bod cymhareb llif O2/SF6 rhwng 0.2 a 0.8, a gellir cael y gyfradd ysgythru orau.