Mae nwyon electronig arbennig cyffredin sy'n cynnwys fflworin yn cynnwyssylffwr hecsafflworid (SF6), hecsaflworid twngsten (WF6),carbon tetraflworid (CF4), trifflworomethan (CHF3), nitrogen trifflworid (NF3), hecsafflworoethan (C2F6) ac octafflworopropan (C3F8).
Gyda datblygiad nanotechnoleg a datblygiad graddfa fawr y diwydiant electroneg, bydd y galw amdano yn cynyddu o ddydd i ddydd. Mae gan nitrogen trifflworid, fel nwy electronig arbennig anhepgor a'r un a ddefnyddir fwyaf wrth gynhyrchu a phrosesu paneli a lled-ddargludyddion, farchnad eang.
Fel math o nwy arbennig sy'n cynnwys fflworin,nitrogen trifflworid (NF3)yw'r cynnyrch nwy arbennig electronig gyda'r capasiti marchnad mwyaf. Mae'n anadweithiol yn gemegol ar dymheredd ystafell, yn fwy egnïol nag ocsigen ar dymheredd uchel, yn fwy sefydlog na fflworin, ac yn hawdd ei drin. Defnyddir nitrogen trifflworid yn bennaf fel nwy ysgythru plasma ac asiant glanhau siambr adwaith, ac mae'n addas ar gyfer meysydd gweithgynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion, arddangosfeydd panel fflat, ffibrau optegol, celloedd ffotofoltäig, ac ati.
O'i gymharu â nwyon electronig eraill sy'n cynnwys fflworin,nitrogen trifflworidMae ganddo fanteision adwaith cyflym ac effeithlonrwydd uchel. Yn enwedig wrth ysgythru deunyddiau sy'n cynnwys silicon fel silicon nitrid, mae ganddo gyfradd ysgythru a detholusrwydd uchel, heb adael unrhyw weddillion ar wyneb y gwrthrych wedi'i ysgythru. Mae hefyd yn asiant glanhau da iawn ac nid oes ganddo unrhyw lygredd i'r wyneb, a all ddiwallu anghenion y broses brosesu.
Amser postio: Medi-14-2024
