Mae nwyon electronig arbennig cyffredin sy'n cynnwys fflworin yn cynnwyssylffwr hecsaflworid (SF6), hecsaflworid twngsten (WF6),carbon tetrafluorid (CF4), trifflworomethan (CHF3), trifluorid nitrogen (NF3), hecsafluoroethane (C2F6) ac octafluoropropane (C3F8).
Gyda datblygiad nanotechnoleg a datblygiad ar raddfa fawr y diwydiant electroneg, bydd ei alw yn cynyddu o ddydd i ddydd. Mae gan nitrogen trifluoride, fel nwy electronig arbennig anhepgor a ddefnyddir fwyaf wrth gynhyrchu a phrosesu paneli a lled-ddargludyddion, ofod marchnad eang.
Fel math o nwy arbennig sy'n cynnwys fflworin,trifflworid nitrogen (NF3)yw'r cynnyrch nwy arbennig electronig sydd â'r gallu mwyaf yn y farchnad. Mae'n anadweithiol yn gemegol ar dymheredd ystafell, yn fwy gweithgar nag ocsigen ar dymheredd uchel, yn fwy sefydlog na fflworin, ac yn hawdd ei drin. Defnyddir trifluorid nitrogen yn bennaf fel nwy ysgythru plasma ac asiant glanhau siambr adwaith, ac mae'n addas ar gyfer meysydd gweithgynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion, arddangosfeydd panel gwastad, ffibrau optegol, celloedd ffotofoltäig, ac ati.
O'i gymharu â nwyon electronig eraill sy'n cynnwys fflworin,trifflworid nitrogenmae ganddo fanteision adwaith cyflym ac effeithlonrwydd uchel. Yn enwedig wrth ysgythru deunyddiau sy'n cynnwys silicon fel nitrid silicon, mae ganddo gyfradd ysgythru uchel a detholusrwydd, gan adael dim gweddillion ar wyneb y gwrthrych ysgythru. Mae hefyd yn asiant glanhau da iawn ac nid oes ganddo unrhyw lygredd i'r wyneb, a all ddiwallu anghenion y broses brosesu.
Amser post: Medi-14-2024
