Mae nwyon electronig arbennig sy'n cynnwys fflworin yn cynnwyssylffwr hexafluoride (sf6), Twngsten hexafluoride (WF6),carbon tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ac octafluoropropane (C3F8).
Gyda datblygiad nanotechnoleg a datblygiad ar raddfa fawr y diwydiant electroneg, bydd ei alw yn cynyddu o ddydd i ddydd. Mae gan nitrogen trifluoride, fel nwy electronig arbennig anhepgor a defnyddir fwyaf wrth gynhyrchu a phrosesu paneli a lled-ddargludyddion, ofod marchnad eang.
Fel math o nwy arbennig sy'n cynnwys fflworin,nitrogen trifluoride (NF3)yw'r cynnyrch nwy arbennig electronig gyda'r capasiti marchnad mwyaf. Mae'n anadweithiol yn gemegol ar dymheredd yr ystafell, yn fwy egnïol nag ocsigen ar dymheredd uchel, yn fwy sefydlog na fflworin, ac yn hawdd ei drin. Defnyddir trifluoride nitrogen yn bennaf fel nwy ysgythru plasma ac asiant glanhau siambr adweithio, ac mae'n addas ar gyfer meysydd gweithgynhyrchu sglodion lled -ddargludyddion, arddangosfeydd panel gwastad, ffibrau optegol, celloedd ffotofoltäig, ac ati.
O'i gymharu â nwyon electronig eraill sy'n cynnwys fflworin,nitrogen trifluoridemae ganddo fanteision ymateb cyflym ac effeithlonrwydd uchel. Yn enwedig wrth ysgythru deunyddiau sy'n cynnwys silicon fel silicon nitrid, mae ganddo gyfradd ysgythru uchel a detholusrwydd, gan adael dim gweddillion ar wyneb y gwrthrych ysgythrog. Mae hefyd yn asiant glanhau da iawn ac nid oes ganddo lygredd i'r wyneb, a all ddiwallu anghenion y broses brosesu.
Amser Post: Medi-14-2024
