Y Swm Mwyaf o Nwy Arbennig Electronig – Nitrogen Trifflworid NF3

Mae diwydiant lled-ddargludyddion a diwydiant paneli ein gwlad yn cynnal lefel uchel o ffyniant. Mae gan nitrogen trifflworid, fel nwy electronig arbennig anhepgor a chyfaint mwyaf wrth gynhyrchu a phrosesu paneli a lled-ddargludyddion, farchnad eang.

Mae nwyon electronig arbennig sy'n cynnwys fflworin a ddefnyddir yn gyffredin yn cynnwyssylffwr hecsafflworid (SF6), hecsaflworid twngsten (WF6),carbon tetraflworid (CF4), trifflworomethan (CHF3), nitrogen trifflworid (NF3), hecsaflworoethan (C2F6) ac octafflworopropan (C3F8). Defnyddir nitrogen trifflworid (NF3) yn bennaf fel ffynhonnell fflworin ar gyfer laserau cemegol ynni uchel nwy hydrogen fflworid-fflworid. Gellir rhyddhau'r rhan effeithiol (tua 25%) o ynni'r adwaith rhwng H2-O2 ac F2 gan ymbelydredd laser, felly laserau HF-OF yw'r laserau mwyaf addawol ymhlith laserau cemegol.

Mae nitrogen trifflworid yn nwy ysgythru plasma rhagorol yn y diwydiant microelectroneg. Ar gyfer ysgythru silicon a silicon nitrid, mae gan nitrogen trifflworid gyfradd ysgythru a detholusrwydd uwch na charbon tetrafflworid a chymysgedd o garbon tetrafflworid ac ocsigen, ac nid oes ganddo unrhyw lygredd i'r wyneb. Yn enwedig wrth ysgythru deunyddiau cylched integredig â thrwch o lai nag 1.5um, mae gan nitrogen trifflworid gyfradd ysgythru a detholusrwydd rhagorol iawn, heb adael unrhyw weddillion ar wyneb y gwrthrych wedi'i ysgythru, ac mae hefyd yn asiant glanhau da iawn. Gyda datblygiad nanotechnoleg a datblygiad ar raddfa fawr y diwydiant electroneg, bydd ei alw'n cynyddu o ddydd i ddydd.

Fel math o nwy arbennig sy'n cynnwys fflworin, nitrogen trifflworid (NF3) yw'r cynnyrch nwy arbennig electronig mwyaf ar y farchnad. Mae'n anadweithiol yn gemegol ar dymheredd ystafell, yn fwy egnïol nag ocsigen, yn fwy sefydlog na fflworin, ac yn hawdd ei drin ar dymheredd uchel.

Defnyddir nitrogen trifflworid yn bennaf fel nwy ysgythru plasma ac asiant glanhau siambr adwaith, sy'n addas ar gyfer meysydd gweithgynhyrchu fel sglodion lled-ddargludyddion, arddangosfeydd panel fflat, ffibrau optegol, celloedd ffotofoltäig, ac ati.

O'i gymharu â nwyon electronig eraill sy'n cynnwys fflworin, mae gan nitrogen trifflworid fanteision adwaith cyflym ac effeithlonrwydd uchel, yn enwedig wrth ysgythru deunyddiau sy'n cynnwys silicon fel silicon nitrid, mae ganddo gyfradd ysgythru a detholusrwydd uchel, heb adael unrhyw weddillion ar wyneb y gwrthrych wedi'i ysgythru, ac mae hefyd yn asiant glanhau da iawn, ac nid yw'n llygru'r wyneb a gall ddiwallu anghenion y broses brosesu.