Y swm mwyaf o nwy arbennig electronig - nitrogen trifluoride nf3

Mae diwydiant lled -ddargludyddion a phanel ein gwlad yn cynnal lefel uchel o ffyniant. Mae gan nitrogen trifluoride, fel nwy electronig arbennig anhepgor a chyfaint fwyaf wrth gynhyrchu a phrosesu paneli a lled-ddargludyddion, ofod marchnad eang.

Mae nwyon electronig arbennig sy'n cynnwys fflworin a ddefnyddir yn gyffredin yn cynnwyssylffwr hexafluoride (sf6), Twngsten hexafluoride (WF6),carbon tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ac octafluoropropane (C3F8). Defnyddir trifluoride nitrogen (NF3) yn bennaf fel ffynhonnell fflworin ar gyfer laserau cemegol egni uchel nwy fflworid-fflworid hydrogen. Gellir rhyddhau'r rhan effeithiol (tua 25%) o'r egni adweithio rhwng H2-O2 a F2 trwy ymbelydredd laser, felly HF-of Lasers yw'r laserau mwyaf addawol ymhlith laserau cemegol.

Mae nitrogen trifluoride yn nwy ysgythru plasma rhagorol yn y diwydiant microelectroneg. Ar gyfer ysgythru silicon a nitrid silicon, mae gan nitrogen trifluoride gyfradd ysgythru uwch a detholusrwydd na charbon tetrafluoride a chymysgedd o tetrafluorid carbon ac ocsigen, ac nid oes ganddo lygredd i'r wyneb. Yn enwedig wrth ysgythru deunyddiau cylched integredig gyda thrwch o lai na 1.5um, mae gan nitrogen trifluoride gyfradd ysgythru a detholusrwydd rhagorol iawn, gan adael dim gweddillion ar wyneb y gwrthrych ysgythrog, ac mae hefyd yn asiant glanhau da iawn. Gyda datblygiad nanotechnoleg a datblygiad ar raddfa fawr y diwydiant electroneg, bydd ei alw yn cynyddu o ddydd i ddydd.

Fel math o nwy arbennig sy'n cynnwys fflworin, nitrogen trifluoride (NF3) yw'r cynnyrch nwy arbennig electronig mwyaf yn y farchnad. Mae'n anadweithiol yn gemegol ar dymheredd yr ystafell, yn fwy egnïol nag ocsigen, yn fwy sefydlog na fflworin, ac yn hawdd ei drin ar dymheredd uchel.

Defnyddir trifluoride nitrogen yn bennaf fel asiant glanhau siambr nwy ac adweithio plasma, sy'n addas ar gyfer gweithgynhyrchu meysydd fel sglodion lled -ddargludyddion, arddangosfeydd panel gwastad, ffibrau optegol, celloedd ffotofoltäig, ac ati. Ac ati.

O'i gymharu â nwyon electronig eraill sy'n cynnwys fflworin, mae gan nitrogen trifluoride fanteision ymateb cyflym ac effeithlonrwydd uchel, yn enwedig wrth ysgythru deunyddiau sy'n cynnwys silicon fel silicon nitrid, mae ganddo gyfradd ysgythru uchel a detholusrwydd da, gan adael unrhyw weddill, ac mae hefyd yn gwrthrych, ac mae hi hefyd ar yr wyneb, ac yn cael ei hystyried yn yr wyneb, ac yn cael ei hystyried ar yr wyneb, ac yn cael ei hystyried yn yr wyneb, ac yn cael ei hystyried ar yr wyneb, ac yn cael ei hystyried ar yr wyneb yn iawn, ac yn cael ei hystyried yn anfwriadol, ac yn cael ei hystyried yn anfwriadol. arwyneb a gall ddiwallu anghenion y broses brosesu.