Yn y broses weithgynhyrchu mewn ffowndrïau wafer lled-ddargludyddion gyda phrosesau cynhyrchu cymharol ddatblygedig, mae angen bron i 50 o wahanol fathau o nwyon. Yn gyffredinol, caiff nwyon eu rhannu'n nwyon swmp anwyon arbennig.

Cymhwyso nwyon mewn diwydiannau microelectroneg a lled-ddargludyddion Mae defnyddio nwyon wedi chwarae rhan bwysig mewn prosesau lled-ddargludyddion erioed, yn enwedig defnyddir prosesau lled-ddargludyddion yn helaeth mewn amrywiol ddiwydiannau. O ULSI, TFT-LCD i'r diwydiant micro-electromecanyddol (MEMS) cyfredol, defnyddir prosesau lled-ddargludyddion fel prosesau gweithgynhyrchu cynnyrch, gan gynnwys ysgythru sych, ocsideiddio, mewnblannu ïonau, dyddodiad ffilm denau, ac ati.

Er enghraifft, mae llawer o bobl yn gwybod bod sglodion wedi'u gwneud o dywod, ond wrth edrych ar y broses gyfan o weithgynhyrchu sglodion, mae angen mwy o ddefnyddiau, fel ffotoresist, hylif caboli, deunydd targed, nwy arbennig, ac ati sy'n anhepgor. Mae pecynnu cefn hefyd yn gofyn am swbstradau, rhyngosodwyr, fframiau plwm, deunyddiau bondio, ac ati o wahanol ddefnyddiau. Nwyon arbennig electronig yw'r ail ddeunydd mwyaf o ran costau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion ar ôl wafferi silicon, ac yna masgiau a ffotoresistiau.

Mae gan burdeb nwy ddylanwad pendant ar berfformiad cydrannau a chynnyrch cynnyrch, ac mae diogelwch y cyflenwad nwy yn gysylltiedig ag iechyd personél a diogelwch gweithrediad y ffatri. Pam mae gan burdeb nwy effaith mor fawr ar y llinell brosesu a'r personél? Nid gor-ddweud yw hyn, ond fe'i pennir gan nodweddion peryglus y nwy ei hun.

Dosbarthu nwyon cyffredin yn y diwydiant lled-ddargludyddion

Nwy Cyffredin

Gelwir nwy cyffredin hefyd yn nwy swmp: mae'n cyfeirio at nwy diwydiannol gyda gofyniad purdeb is na 5N a chyfaint cynhyrchu a gwerthu mawr. Gellir ei rannu'n nwy gwahanu aer a nwy synthetig yn ôl gwahanol ddulliau paratoi. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), ocsigen (O2), argon (A2), ac ati;

Nwy Arbenigol

Mae nwy arbenigol yn cyfeirio at nwy diwydiannol a ddefnyddir mewn meysydd penodol ac sydd â gofynion arbennig o ran purdeb, amrywiaeth a phriodweddau.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ac yn y blaen.

Mathau o nwyon arbennig

Mathau o nwyon arbennig: cyrydol, gwenwynig, fflamadwy, sy'n cefnogi hylosgi, anadweithiol, ac ati.
Mae nwyon lled-ddargludyddion a ddefnyddir yn gyffredin wedi'u dosbarthu fel a ganlyn:
(i) Cyrydol/gwenwynig:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2BCl3…
(ii) Fflamadwy: H2、CH4、SiH4、 PH3 、 Ash3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) Hylosgadwy: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Anadweithiol: N2CF4C2F6C4F8、SF6CO2Ne、KrFe…

Yn y broses o gynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion, defnyddir tua 50 o wahanol fathau o nwyon arbennig (y cyfeirir atynt fel nwyon arbennig) mewn ocsideiddio, trylediad, dyddodiad, ysgythru, chwistrellu, ffotolithograffeg a phrosesau eraill, ac mae cyfanswm y camau proses yn fwy na channoedd. Er enghraifft, defnyddir PH3 ac AsH3 fel ffynonellau ffosfforws ac arsenig yn y broses mewnblannu ïonau, defnyddir nwyon sy'n seiliedig ar F CF4, CHF3, SF6 a nwyon halogen CI2, BCI3, HBr yn gyffredin yn y broses ysgythru, SiH4, NH3, N2O yn y broses ffilm dyddodiad, F2/Kr/Ne, Kr/Ne yn y broses ffotolithograffeg.

O'r agweddau uchod, gallwn ddeall bod llawer o nwyon lled-ddargludyddion yn niweidiol i'r corff dynol. Yn benodol, mae rhai o'r nwyon, fel SiH4, yn hunan-danio. Cyn belled â'u bod yn gollwng, byddant yn adweithio'n dreisgar gydag ocsigen yn yr awyr ac yn dechrau llosgi; ac mae AsH3 yn wenwynig iawn. Gall unrhyw ollyngiad bach achosi niwed i fywydau pobl, felly mae'r gofynion ar gyfer diogelwch dyluniad y system reoli ar gyfer defnyddio nwyon arbennig yn arbennig o uchel.

Mae angen i nwyon purdeb uchel ar led-ddargludyddion gael “tri gradd”

Purdeb nwy

Fel arfer, mynegir cynnwys yr awyrgylch amhuredd yn y nwy fel canran o burdeb y nwy, fel 99.9999%. Yn gyffredinol, mae'r gofyniad purdeb ar gyfer nwyon arbennig electronig yn cyrraedd 5N-6N, ac fe'i mynegir hefyd gan gymhareb cyfaint cynnwys yr awyrgylch amhuredd ppm (rhan fesul miliwn), ppb (rhan fesul biliwn), a ppt (rhan fesul triliwn). Mae gan y maes lled-ddargludyddion electronig y gofynion uchaf ar gyfer purdeb a sefydlogrwydd ansawdd nwyon arbennig, ac mae purdeb nwyon arbennig electronig yn gyffredinol yn fwy na 6N.

Sychder

Fel arfer, mynegir cynnwys dŵr bach yn y nwy, neu wlybaniaeth, mewn pwynt gwlith, fel pwynt gwlith atmosfferig -70 ℃.

Glendid

Mynegir nifer y gronynnau llygrydd yn y nwy, gronynnau â maint gronyn o µm, yn nifer y gronynnau/M3. Ar gyfer aer cywasgedig, caiff ei fynegi fel arfer mewn mg/m3 o weddillion solet na ellir eu hosgoi, sy'n cynnwys cynnwys olew.