Yn y broses weithgynhyrchu o ffowndrïau wafer lled -ddargludyddion gyda phrosesau cynhyrchu cymharol ddatblygedig, mae angen bron i 50 o wahanol fathau o nwyon. Yn gyffredinol, rhennir nwyon yn nwyon swmp anwyon arbennig.

Cymhwyso nwyon mewn diwydiannau microelectroneg a lled -ddargludyddion Mae'r defnydd o nwyon bob amser wedi chwarae rhan bwysig mewn prosesau lled -ddargludyddion, yn enwedig mae prosesau lled -ddargludyddion yn cael eu defnyddio'n helaeth mewn amrywiol ddiwydiannau. O ULSI, TFT-LCD i'r diwydiant micro-electromecanyddol cyfredol (MEMS), defnyddir prosesau lled-ddargludyddion fel prosesau gweithgynhyrchu cynnyrch, gan gynnwys ysgythru sych, ocsidiad, mewnblannu ïon, dyddodiad ffilm denau, ac ati. Ac ati.

Er enghraifft, mae llawer o bobl yn gwybod bod sglodion wedi'u gwneud o dywod, ond wrth edrych ar y broses gyfan o weithgynhyrchu sglodion, mae angen mwy o ddeunyddiau, fel ffotoresist, caboli hylif, deunydd targed, nwy arbennig, ac ati yn anhepgor. Mae pecynnu pen ôl hefyd yn gofyn am swbstradau, rhyngosodwyr, fframiau plwm, deunyddiau bondio, ac ati o ddeunyddiau amrywiol. Nwyon arbennig electronig yw'r ail ddeunydd mwyaf mewn costau gweithgynhyrchu lled -ddargludyddion ar ôl wafferi silicon, ac yna masgiau a ffotoresists.

Mae purdeb nwy yn cael dylanwad pendant ar berfformiad cydran a chynnyrch cynnyrch, ac mae diogelwch cyflenwad nwy yn gysylltiedig ag iechyd personél a diogelwch gweithrediad ffatri. Pam mae purdeb nwy yn cael effaith mor fawr ar linell y broses a phersonél? Nid gor -ddweud mo hwn, ond mae'n cael ei bennu gan nodweddion peryglus y nwy ei hun.

Dosbarthiad nwyon cyffredin yn y diwydiant lled -ddargludyddion

Nwyon

Gelwir nwy cyffredin hefyd yn nwy swmp: mae'n cyfeirio at nwy diwydiannol sydd â gofyniad purdeb yn is na 5N a chyfaint cynhyrchu a gwerthu mawr. Gellir ei rannu'n nwy gwahanu aer a nwy synthetig yn unol â gwahanol ddulliau paratoi. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), ocsigen (O2), argon (A2), ac ati;

Nwy Arbenigol

Mae nwy arbenigol yn cyfeirio at nwy diwydiannol a ddefnyddir mewn meysydd penodol ac sydd â gofynion arbennig ar gyfer purdeb, amrywiaeth ac eiddo. Yn bennafSih4, Ph3, B2H6, A8H3,Hcl, CF4,NH3, POCl3, SiH2Cl2, Sihcl3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,Sf6… Ac ati.

Mathau o nwyon troellog

Mathau o nwyon arbennig: cyrydol, gwenwynig, fflamadwy, cefnogi hylosgi, anadweithiol, ac ati.
Mae nwyon lled -ddargludyddion a ddefnyddir yn gyffredin yn cael eu dosbarthu fel a ganlyn:
(i) cyrydol/gwenwynig:Hcl、 Bf3 、 wf6 、 hbr 、 sih2cl2 、 nH3 、 ph3 、 cl2 、Bcl3…
(ii) Fflamadwy: H2 、CH4、Sih4、 PH3 、 ASH3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) Llosgadwy: o2 、 cl2 、 n2o 、 nf3…
(iv) anadweithiol: n2 、CF4、 C2F6 、C4F8、Sf6、 CO2 、Ne、Kr、 He…

Yn y broses o weithgynhyrchu sglodion lled -ddargludyddion, defnyddir tua 50 o wahanol fathau o nwyon arbennig (y cyfeirir atynt fel nwyon arbennig) mewn ocsideiddio, trylediad, dyddodiad, ysgythru, pigiad, ffotolithograffeg a phrosesau eraill, ac mae cyfanswm y camau proses yn fwy na channoedd. For example, PH3 and AsH3 are used as phosphorus and arsenic sources in the ion implantation process, F-based gases CF4, CHF3, SF6 and halogen gases CI2, BCI3, HBr are commonly used in the etching process, SiH4, NH3, N2O in the deposition film process, F2/Kr/Ne, Kr/Ne in the photolithography process.

O'r agweddau uchod, gallwn ddeall bod llawer o nwyon lled -ddargludyddion yn niweidiol i'r corff dynol. Yn benodol, mae rhai o'r nwyon, fel SIH4, yn hunan-anniddig. Cyn belled â'u bod yn gollwng, byddant yn ymateb yn dreisgar gydag ocsigen yn yr awyr ac yn dechrau llosgi; ac mae Ash3 yn wenwynig iawn. Gall unrhyw ollyngiadau bach achosi niwed i fywydau pobl, felly mae'r gofynion ar gyfer diogelwch dyluniad y system reoli ar gyfer defnyddio nwyon arbennig yn arbennig o uchel.

Mae angen nwyon purdeb uchel ar lled-ddargludyddion i gael “tair gradd”

Purdeb nwy

Mae cynnwys yr awyrgylch amhuredd yn y nwy fel arfer yn cael ei fynegi fel canran o burdeb nwy, fel 99.9999%. A siarad yn gyffredinol, mae'r gofyniad purdeb ar gyfer nwyon arbennig electronig yn cyrraedd 5N-6N, ac fe'i mynegir hefyd gan gymhareb cyfaint y cynnwys awyrgylch amhuredd ppm (rhan fesul miliwn), ppb (rhan fesul biliwn), a ppt (rhan fesul triliwn). Y maes lled -ddargludyddion electronig sydd â'r gofynion uchaf ar gyfer purdeb a sefydlogrwydd ansawdd nwyon arbennig, ac mae purdeb nwyon arbennig electronig yn gyffredinol yn fwy na 6N.

Sychder

Mae cynnwys dŵr olrhain yn y nwy, neu'r gwlybaniaeth, fel arfer yn cael ei fynegi yn Dew Point, fel pwynt gwlith atmosfferig -70 ℃.

Glendidau

Mynegir nifer y gronynnau llygrydd yn y nwy, gronynnau â maint gronynnau o µm, yn faint o ronynnau/m3. Ar gyfer aer cywasgedig, fe'i mynegir fel arfer mewn mg/m3 o weddillion solet na ellir eu hosgoi, sy'n cynnwys cynnwys olew.