Yn y broses weithgynhyrchu o ffowndrïau wafferi lled-ddargludyddion gyda phrosesau cynhyrchu cymharol ddatblygedig, mae angen bron i 50 o wahanol fathau o nwyon. Rhennir nwyon yn gyffredinol yn nwyon swmp anwyon arbennig.

Cymhwyso nwyon mewn diwydiannau microelectroneg a lled-ddargludyddion Mae'r defnydd o nwyon bob amser wedi chwarae rhan bwysig mewn prosesau lled-ddargludyddion, yn enwedig prosesau lled-ddargludyddion yn cael eu defnyddio'n helaeth mewn amrywiol ddiwydiannau. O ULSI, TFT-LCD i'r diwydiant micro-electromecanyddol (MEMS) presennol, defnyddir prosesau lled-ddargludyddion fel prosesau gweithgynhyrchu cynnyrch, gan gynnwys ysgythru sych, ocsidiad, mewnblannu ïon, dyddodiad ffilm tenau, ac ati.

Er enghraifft, mae llawer o bobl yn gwybod bod sglodion yn cael eu gwneud o dywod, ond o edrych ar y broses gyfan o weithgynhyrchu sglodion, mae angen mwy o ddeunyddiau, megis ffotoresist, hylif caboli, deunydd targed, nwy arbennig, ac ati yn anhepgor. Mae pecynnu pen ôl hefyd yn gofyn am swbstradau, rhyngosodwyr, fframiau plwm, deunyddiau bondio, ac ati o ddeunyddiau amrywiol. Nwyon arbennig electronig yw'r ail ddeunydd mwyaf mewn costau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion ar ôl wafferi silicon, ac yna masgiau a ffotoresyddion.

Mae purdeb nwy yn cael dylanwad pendant ar berfformiad cydrannau a chynnyrch y cynnyrch, ac mae diogelwch cyflenwad nwy yn gysylltiedig ag iechyd personél a diogelwch gweithrediad ffatri. Pam mae purdeb nwy yn cael effaith mor fawr ar linell y broses a phersonél? Nid gor-ddweud yw hyn, ond mae'n cael ei bennu gan nodweddion peryglus y nwy ei hun.

Dosbarthiad nwyon cyffredin yn y diwydiant lled-ddargludyddion

Nwy Cyffredin

Gelwir nwy cyffredin hefyd yn nwy swmp: mae'n cyfeirio at nwy diwydiannol gyda gofyniad purdeb yn is na 5N a chyfaint cynhyrchu a gwerthu mawr. Gellir ei rannu'n nwy gwahanu aer a nwy synthetig yn ôl gwahanol ddulliau paratoi. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), ocsigen (O2), argon (A2), ac ati;

Nwy Arbenig

Mae nwy arbenigol yn cyfeirio at nwy diwydiannol a ddefnyddir mewn meysydd penodol ac mae ganddo ofynion arbennig ar gyfer purdeb, amrywiaeth ac eiddo. Yn bennafSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ac ati.

Mathau o nwyon sbeislyd

Mathau o nwyon arbennig: cyrydol, gwenwynig, fflamadwy, cynnal hylosgi, anadweithiol, ac ati.
Mae nwyon lled-ddargludyddion a ddefnyddir yn gyffredin yn cael eu dosbarthu fel a ganlyn:
(i) Cyrydol/gwenwynig:HCl、 BF3 、 WF6 , HBr , SiH2Cl2 , NH3 , PH3 , Cl2 ,BCl3…
(ii) Fflamadwy: H2、CH4、SiH4、 PH3 、 Ash3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) Hylosg: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Anadweithiol: N2,CF4、C2F6、C4F8、SF6、 CO2、Ne、Kr、 Mae'n…

Yn y broses o weithgynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion, defnyddir tua 50 o wahanol fathau o nwyon arbennig (y cyfeirir atynt fel nwyon arbennig) mewn ocsidiad, trylediad, dyddodiad, ysgythru, chwistrellu, ffotolithograffeg a phrosesau eraill, ac mae cyfanswm y camau proses yn fwy na channoedd. Er enghraifft, defnyddir PH3 ac AsH3 fel ffynonellau ffosfforws ac arsenig yn y broses mewnblannu ïon, mae nwyon sy'n seiliedig ar F CF4, CHF3, SF6 a nwyon halogen CI2, BCI3, HBr yn cael eu defnyddio'n gyffredin yn y broses ysgythru, SiH4, NH3, N2O yn y broses ffilm dyddodiad, F2/Kr/Ne, Kr/Ne yn y broses ffotolithograffeg.

O'r agweddau uchod, gallwn ddeall bod llawer o nwyon lled-ddargludyddion yn niweidiol i'r corff dynol. Yn benodol, mae rhai o'r nwyon, fel SiH4, yn tanio eu hunain. Cyn belled â'u bod yn gollwng, byddant yn ymateb yn dreisgar ag ocsigen yn yr aer ac yn dechrau llosgi; ac mae AsH3 yn wenwynig iawn. Gall unrhyw ollyngiad bach achosi niwed i fywydau pobl, felly mae'r gofynion ar gyfer diogelwch dyluniad y system reoli ar gyfer defnyddio nwyon arbennig yn arbennig o uchel.

Mae lled-ddargludyddion angen i nwyon purdeb uchel gael “tair gradd”

Purdeb nwy

Mae cynnwys awyrgylch amhuredd yn y nwy fel arfer yn cael ei fynegi fel canran o purdeb nwy, megis 99.9999%. Yn gyffredinol, mae'r gofyniad purdeb ar gyfer nwyon arbennig electronig yn cyrraedd 5N-6N, ac fe'i mynegir hefyd gan gymhareb cyfaint cynnwys atmosffer amhuredd ppm (rhan fesul miliwn), ppb (rhan fesul biliwn), a ppt (rhan fesul triliwn). Mae gan y maes lled-ddargludyddion electronig y gofynion uchaf ar gyfer purdeb a sefydlogrwydd ansawdd nwyon arbennig, ac mae purdeb nwyon arbennig electronig yn gyffredinol yn fwy na 6N.

Sychder

Mae cynnwys dŵr hybrin yn y nwy, neu wlybedd, fel arfer yn cael ei fynegi mewn pwynt gwlith, fel pwynt gwlith atmosfferig -70 ℃.

Glendid

Mae nifer y gronynnau llygrydd yn y nwy, sef gronynnau â maint gronynnau o µm, yn cael ei fynegi mewn faint o ronynnau/M3. Ar gyfer aer cywasgedig, fe'i mynegir fel arfer mewn mg/m3 o weddillion solet na ellir eu hosgoi, sy'n cynnwys cynnwys olew.