Nwyon arbenigolyn wahanol i'r cyffredinolnwyon diwydiannolgan fod ganddynt ddefnyddiau arbenigol a'u bod yn cael eu cymhwyso mewn meysydd penodol. Mae ganddynt ofynion penodol ar gyfer purdeb, cynnwys amhuredd, cyfansoddiad, a phriodweddau ffisegol a chemegol. O'i gymharu â nwyon diwydiannol, mae nwyon arbenigol yn fwy amrywiol o ran amrywiaeth ond mae ganddynt gyfrolau cynhyrchu a gwerthu llai.

Ynwyon cymysganwyon calibradu safonolrydyn ni'n eu defnyddio'n gyffredin yn gydrannau pwysig o nwyon arbenigol. Fel arfer, mae nwyon cymysg yn cael eu rhannu'n nwyon cymysg cyffredinol a nwyon cymysg electronig.

Mae nwyon cymysg cyffredinol yn cynnwys:nwy cymysg laser, nwy cymysg canfod offerynnau, nwy cymysg weldio, nwy cymysg cadwraeth, nwy cymysg ffynhonnell golau trydan, nwy cymysg ymchwil feddygol a biolegol, nwy cymysg diheintio a sterileiddio, nwy cymysg larwm offerynnau, nwy cymysg pwysedd uchel, ac aer gradd sero.

Mae cymysgeddau nwy electronig yn cynnwys cymysgeddau nwy epitacsial, cymysgeddau nwy dyddodiad anwedd cemegol, cymysgeddau nwy dopio, cymysgeddau nwy ysgythru, a chymysgeddau nwy electronig eraill. Mae'r cymysgeddau nwy hyn yn chwarae rhan hanfodol yn y diwydiannau lled-ddargludyddion a microelectroneg ac fe'u defnyddir yn helaeth mewn gweithgynhyrchu cylched integredig ar raddfa fawr (LSI) a chylched integredig ar raddfa fawr iawn (VLSI), yn ogystal ag mewn cynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion.

5 Math o nwyon cymysg electronig yw'r rhai a ddefnyddir amlaf

Dopio nwy cymysg

Wrth gynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion a chylchedau integredig, cyflwynir rhai amhureddau i ddeunyddiau lled-ddargludyddion i roi'r dargludedd a'r gwrthedd a ddymunir, gan alluogi cynhyrchu gwrthyddion, cyffyrdd PN, haenau claddedig, a deunyddiau eraill. Gelwir y nwyon a ddefnyddir yn y broses dopio yn nwyon dopant. Mae'r nwyon hyn yn bennaf yn cynnwys arsin, ffosffin, ffosfforws trifflworid, ffosfforws pentaflworid, arsenig trifflworid, arsenig pentaflworid,boron trifflworid, a diboran. Fel arfer, mae'r ffynhonnell dopant yn cael ei chymysgu â nwy cludwr (fel argon a nitrogen) mewn cabinet ffynhonnell. Yna caiff y nwy cymysg ei chwistrellu'n barhaus i ffwrnais trylediad ac mae'n cylchredeg o amgylch y wafer, gan ddyddodi'r dopant ar wyneb y wafer. Yna mae'r dopant yn adweithio â silicon i ffurfio metel dopant sy'n mudo i'r silicon.

Cymysgedd nwy twf epitacsial

Twf epitacsial yw'r broses o ddyddodi a thyfu deunydd crisial sengl ar wyneb swbstrad. Yn y diwydiant lled-ddargludyddion, gelwir y nwyon a ddefnyddir i dyfu un neu fwy o haenau o ddeunydd gan ddefnyddio dyddodiad anwedd cemegol (CVD) ar swbstrad a ddewiswyd yn ofalus yn nwyon epitacsial. Mae nwyon epitacsial silicon cyffredin yn cynnwys dihydrogen dichlorosilane, silicon tetraclorid, a silane. Fe'u defnyddir yn bennaf ar gyfer dyddodiad silicon epitacsial, dyddodiad silicon polygrisialog, dyddodiad ffilm silicon ocsid, dyddodiad ffilm silicon nitrid, a dyddodiad ffilm silicon amorffaidd ar gyfer celloedd solar a dyfeisiau ffotosensitif eraill.

Nwy mewnblannu ïon

Mewn gweithgynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion a chylchedau integredig, cyfeirir at y nwyon a ddefnyddir yn y broses mewnblannu ïonau gyda'i gilydd fel nwyon mewnblannu ïonau. Mae amhureddau ïoneiddiedig (megis ïonau boron, ffosfforws ac arsenig) yn cael eu cyflymu i lefel ynni uchel cyn cael eu mewnblannu yn y swbstrad. Defnyddir technoleg mewnblannu ïonau yn fwyaf eang i reoli foltedd trothwy. Gellir pennu faint o amhureddau a fewnblannwyd trwy fesur cerrynt y trawst ïonau. Mae nwyon mewnblannu ïonau fel arfer yn cynnwys nwyon ffosfforws, arsenig a boron.

Ysgythru nwy cymysg

Ysgythru yw'r broses o ysgythru'r arwyneb wedi'i brosesu (fel ffilm fetel, ffilm silicon ocsid, ac ati) ar y swbstrad nad yw wedi'i guddio gan ffotowrthwynebiad, gan gadw'r ardal sydd wedi'i chuddio gan ffotowrthwynebiad, er mwyn cael y patrwm delweddu gofynnol ar wyneb y swbstrad.

Cymysgedd Nwy Dyddodiad Anwedd Cemegol

Mae dyddodiad anwedd cemegol (CVD) yn defnyddio cyfansoddion anweddol i ddyddodi un sylwedd neu gyfansoddyn trwy adwaith cemegol cyfnod anwedd. Mae hwn yn ddull ffurfio ffilm sy'n defnyddio adweithiau cemegol cyfnod anwedd. Mae'r nwyon CVD a ddefnyddir yn amrywio yn dibynnu ar y math o ffilm sy'n cael ei ffurfio.