Epitacsial (twf)Ga Cymysgs

Yn y diwydiant lled-ddargludyddion, gelwir y nwy a ddefnyddir i dyfu un neu fwy o haenau o ddeunydd trwy ddyddodiad anwedd cemegol ar swbstrad a ddewiswyd yn ofalus yn nwy epitacsial.

Mae nwyon epitacsial silicon a ddefnyddir yn gyffredin yn cynnwys dichlorosilane, silicon tetraclorid asilanFe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer dyddodiad silicon epitacsial, dyddodiad ffilm silicon ocsid, dyddodiad ffilm silicon nitrid, dyddodiad ffilm silicon amorffaidd ar gyfer celloedd solar a ffotodderbynyddion eraill, ac ati. Mae epitacsi yn broses lle mae deunydd grisial sengl yn cael ei ddyddodi a'i dyfu ar wyneb swbstrad.

Nwy Cymysg Dyddodiad Anwedd Cemegol (CVD)

Mae CVD yn ddull o ddyddodi elfennau a chyfansoddion penodol trwy adweithiau cemegol cyfnod nwy gan ddefnyddio cyfansoddion anweddol, h.y., dull ffurfio ffilm gan ddefnyddio adweithiau cemegol cyfnod nwy. Yn dibynnu ar y math o ffilm a ffurfir, mae'r nwy dyddodiad anwedd cemegol (CVD) a ddefnyddir hefyd yn wahanol.

DopioNwy Cymysg

Wrth gynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion a chylchedau integredig, mae rhai amhureddau'n cael eu dopio i ddeunyddiau lled-ddargludyddion i roi'r math dargludedd gofynnol a gwrthedd penodol i'r deunyddiau i gynhyrchu gwrthyddion, cyffyrdd PN, haenau claddedig, ac ati. Gelwir y nwy a ddefnyddir yn y broses dopio yn nwy dopio.

Yn bennaf yn cynnwys arsin, ffosffin, ffosfforws trifflworid, ffosfforws pentaflworid, arsenig trifflworid, arsenig pentaflworid,boron trifflworid, diboran, ac ati.

Fel arfer, mae'r ffynhonnell dopio yn cael ei chymysgu â nwy cludwr (fel argon a nitrogen) mewn cabinet ffynhonnell. Ar ôl cymysgu, mae'r llif nwy yn cael ei chwistrellu'n barhaus i'r ffwrnais trylediad ac yn amgylchynu'r wafer, gan ddyddodi dopants ar wyneb y wafer, ac yna adweithio â silicon i gynhyrchu metelau wedi'u dopio sy'n mudo i silicon.

YsgythruCymysgedd Nwy

Ysgythru yw ysgythru'r arwyneb prosesu (megis ffilm fetel, ffilm silicon ocsid, ac ati) ar y swbstrad heb fasgio ffotowrthsefyll, gan gadw'r ardal gyda masgio ffotowrthsefyll, er mwyn cael y patrwm delweddu gofynnol ar wyneb y swbstrad.

Mae dulliau ysgythru yn cynnwys ysgythru cemegol gwlyb ac ysgythru cemegol sych. Gelwir y nwy a ddefnyddir mewn ysgythru cemegol sych yn nwy ysgythru.

Nwy fflworid (halid) yw nwy ysgythru fel arfer, felcarbon tetraflworid, nitrogen trifflworid, trifflworomethan, hecsaflworoethan, perfflworopropan, ac ati.