EpitaxialGA cymysgs

Yn y diwydiant lled -ddargludyddion, gelwir y nwy a ddefnyddir i dyfu un neu fwy o haenau o ddeunydd trwy ddyddodiad anwedd cemegol ar swbstrad a ddewiswyd yn ofalus yn nwy epitaxial.

Mae nwyon epitaxial silicon a ddefnyddir yn gyffredin yn cynnwys dichlorosilane, tetrachlorid silicon asilane. Defnyddir yn bennaf ar gyfer dyddodiad silicon epitaxial, dyddodiad ffilm silicon ocsid, dyddodiad ffilm nitrid silicon, dyddodiad ffilm silicon amorffaidd ar gyfer celloedd solar a ffotoreceptors eraill, ac ati. Mae epitaxy yn broses lle mae deunydd grisial sengl yn cael ei adneuo a'i dyfu ar wyneb swbstrad.

Dyddodiad Anwedd Cemegol (CVD) Nwy Cymysg

Mae CVD yn ddull o adneuo rhai elfennau a chyfansoddion yn ôl adweithiau cemegol cyfnod nwy gan ddefnyddio cyfansoddion cyfnewidiol, hy, dull ffurfio ffilm gan ddefnyddio adweithiau cemegol cyfnod nwy. Yn dibynnu ar y math o ffilm a ffurfiwyd, mae'r nwy dyddodiad anwedd cemegol (CVD) a ddefnyddir hefyd yn wahanol.

DopioNwy cymysg

Wrth gynhyrchu dyfeisiau lled -ddargludyddion a chylchedau integredig, mae rhai amhureddau yn cael eu dopio i ddeunyddiau lled -ddargludyddion i roi'r math dargludedd gofynnol i'r deunyddiau a gwrthsefyll penodol i gynhyrchu gwrthyddion, cyffyrdd PN, haenau claddedig, ac ati. Gelwir y nwy a ddefnyddir yn y broses dopio yn nwy dopio.

Yn bennaf yn cynnwys arsine, ffosffin, ffosfforws trifluoride, ffosfforws pentafluoride, trifluorid arsenig, pentafluorid arsenig,boron trifluoride, diborane, ac ati.

Fel arfer, mae'r ffynhonnell dopio yn gymysg â nwy cludwr (fel argon a nitrogen) mewn cabinet ffynhonnell. Ar ôl cymysgu, mae'r llif nwy yn cael ei chwistrellu'n barhaus i'r ffwrnais trylediad ac yn amgylchynu'r wafer, gan adneuo dopants ar wyneb y wafer, ac yna'n ymateb gyda silicon i gynhyrchu metelau dop sy'n mudo i silicon.

YsgythriadCymysgedd nwy

Mae ysgythru i ysgythru'r arwyneb prosesu (fel ffilm fetel, ffilm silicon ocsid, ac ati) ar y swbstrad heb guddio ffotoresist, wrth gadw'r ardal â masgio ffotoresist, er mwyn cael y patrwm delweddu gofynnol ar wyneb y swbstrad.

Mae dulliau ysgythru yn cynnwys ysgythriad cemegol gwlyb ac ysgythriad cemegol sych. Gelwir y nwy a ddefnyddir mewn ysgythriad cemegol sych yn nwy ysgythru.

Mae nwy ysgythru fel arfer yn nwy fflworid (halid), felcarbon tetrafluoride, nitrogen trifluoride, trifluoromethane, hexafluoroethane, perfluoropropane, ac ati.